芯源微得到实用新式专利授权：“一种载片模块和涂胶显影成立”

2024-11-26 01:08

本站讯息，把柄天眼查APP数据清爽芯源微（688037）新得到一项实用新式专利授权，专利名为“一种载片模块和涂胶显影成立”，专利央求号为CN202323670052.3，授权日为2024年11月26日。

专利纲目：本实用新式波及半导体制造成立领域，提供了一种载片模块和涂胶显影成立，一种载片模块，包括：架体，包括后头板和垂直于所述后头板相对缔造的两个装配板，所述后头板在两个所述装配板之间设有珍摄通说念，所述架体上还设有多个撑捏架；以及载片单位，多个所述载片单位沿竖直场合缔造于两个所述装配板之间，且所述载片单位巧合出动至所述撑捏架上，所述载片单位被建设于承载多个晶圆，本实用新式中的载片模块的多个载片单位缔造在架体上，珍摄东说念主员需要进行珍摄时，不错将载片单位出动至隔邻的撑捏架上，然后穿过载片单位出动后空出的珍摄通说念，进入工艺模块对其进行珍摄，待珍摄截止，再将载片单位放回至架体上即可。

本年以来芯源微新得到专利授权32个，较客岁同时减少了13.51%。连合公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研发方面参加了1.17亿元，同比增52%。

数据开端：天眼查APP

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